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化学气相沉积系统的种类、特点及应用 - 知乎专栏

一、化学气相沉积（CVD）1.原理：化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition 简称CVD) 是利用气态或蒸汽态的物质在气相或气固界面上发生反应生成固态沉积物的过程。 2.

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