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氣相沉積- 化學過程 - 華人百科

目前製備鎢塗層可採用物理或化學氣相沉積方法，或者將氣相沉積方法結合其他製備技術，提高鎢塗層的性能。 化學氣相澱積[CVD(Chemical Vapor Deposition)]，指把含有構成 ...

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