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微波電漿化學氣相沉積(MPCVD) | Ansforce

微波電漿化學氣相沉積(MPCVD)在成長薄膜的過程中有化學反應發生，屬於「化學氣相沉積(CVD)」，由於只需要高真空，而且蒸鍍的金屬可以大量快速地在基板 ...

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