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TW201619422A - 用於化學氣相沉積之基板載體 - Google Patents

用於化學氣相沈積之旋轉盤反應器包括真空室及包含上部及下部鐵磁流體密封之鐵磁流體導引，該鐵磁流體導引將馬達軸穿入該真空室中。馬達係耦合至該馬達軸且定位於該上部 ...

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