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石墨烯與二維材料製作機台「化學氣相沉積系統 - 微奈米科技組

化學氣相沉積 法(Chemical Vapor Deposition，CVD）是一種用來成長純度高與效能好的固態材料的薄膜磊晶技術。將晶圓或基板放置在一種或多種不同的前趨 ...

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