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化學氣相沉積 優點
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氣相沉積缺點半導體製程簡介 - Guvxn
在進行化學氣相沉積製程時,包含有被沉積材料之原子的氣體,會被導入受到嚴密控制 ... 該技術之優點係在於其加工能力與材料硬度無關,且能加工出微細及形狀複雜之表面 ...
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