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化學氣相沉積 優點
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http://web.nuu.edu.tw/~hsuch/download/semiconductor_technology5.pdf
半導體製程技術 - 聯合大學
化學蝕刻, 物理蝕刻或是兩者的組合 ... 亦廣泛的使用在化學氣相沉積薄膜品質控制(緩衝二氧化. 矽蝕刻;BOE) ... 蝕刻製程使用電漿的優點. ▫ 高蝕刻速率.
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