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化學氣相沉積 優點
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薄膜沉積半導體 - Omarw
在進行化學氣相沉積製程時,包含有被沉積材料之原子的氣體,會被導入受到嚴密 ... 原子層沉積技術是以前驅物氣體與基板表面所產生的交互反應進行薄膜成長,其優點為 ...
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