LPCVD 系統的主要優點在於具有優異的薄膜均勻度以及較佳的階梯覆蓋能力,. 並且可以沈積大面積的晶片;而LPCVD 的缺點則是沈積速率較低,而且經常使用具. 有毒性、腐蝕性、 ...
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