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化學氣相沉積 優點
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阻障層一般係以電漿增強化學氣相沉積法(PECVD)利用三 ... 本發明的具體實施例和其優點與特徵將結合下面的 ... 第1A 圖為依照本發明之高密度化學氣相沉積系統之一.
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