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化學氣相沉積 優點
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https://patents.google.com/patent/TW201619422A/zh
TW201619422A - 用於化學氣相沉積之基板載體 - Google Patents
基板載體係定位於該真空室中之該介電支撐件上以供化學氣相沈積處理。 ... 根據較佳及例示性之實施例之本發明與其其他優點一起結合附圖更具體地闡述於以下詳細說明中。
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