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化學氣相沉積 優點
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高密度電漿輔助化學氣相沉積系統(Inductively Coupled Plasma ...
基於此一優點,ICP的輸入功率可以達到相當高的範圍。以能量損耗之觀點來看,在ICP的電漿系統內,由於離子加速路徑是環繞著磁力線而行,離子循著 ...
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