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化學氣相沉積 優點
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行政院原子能委員會行政院原子能委員會委託研究計畫研究報告 ...
因此電漿輔助化學氣. 相沉積中化學反應所需的能量主要來自電漿催化而非熱能,故而相. 較於化學氣相沉積能在較低溫的情況下成長薄膜。低溫成膜是一個. 極大的製程優點; ...
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