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化學氣相沉積 優點
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電機與電子工程系碩士班碩士論文爐管氮化矽均勻度改善之研究 ...
片進行氧化層成長、物理氣相沉積(Physical Vapor Deposition)、化學氣 ... 濺鍍的優點有薄膜沉積速率佳、精准成分控制佳、整體製造成本低、.
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