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化學氣相沉積 優點
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三種常見的薄膜材料物理氣相沉積方法(PVD) - 農林漁牧網
優缺點 :優點是真空蒸鍍無論是從原理上還是從方法上都比較簡單。而其主要缺點是,靶材對於鍍件幾乎沒有衝擊,薄膜與基片(待鍍件)的集合不是十分緊密, ...
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