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化學氣相沉積 優點
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第二章文獻回顧2-1 磁控濺鍍技術
化學氣相沉積 技術的優點是具有良好的階梯覆蓋率,以及可以達. 成選擇性沉積;缺點是基板溫度高,不適合低溶點材料沉積薄膜,. 且會產生有毒廢液造成公害問題。 Page 30. 35.
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