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化學氣相沉積 優點
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物理氣相沉積 - 中文百科知識
物理氣相沉積(Physical Vapor Deposition,PVD)技術表示在真空條件下,採用物理方法,將材料源--固體或液體表面氣化成氣態原子、分子或部分電離成離子, ...
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