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化學氣相沉積 優點
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熱蒸鍍機與高溫爐管之製程與設備技術初步實務 - 管理學院
在金屬化. 製程的發展上,由於物理氣相沉積金屬比化學氣相沉積有製程簡易,. 成本低廉、安全等優點,因此發展得較早、較成熟。以現今的金屬化. 製程而言,舉凡TiN、TiW 等 ...
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