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化學氣相沉積 優點
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化學氣相沉積
CVD 化學氣相沉積(CVD)為一種薄膜沉積方法,其中將基材暴露於一種或多種揮發性氣體中,在基板表面上反應或分解以生成所需的薄膜沉積物。這種方法通常用於在真空環境 ...
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