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以有機金屬化學氣相沉積系統成長氮化銦奈米結構 - 未來科技館

有機金屬化學氣相沉積系統為業界通用的磊晶方式，相較於分子束磊晶，具備了成長速度快、多晶片成長等優點，為量產化的利器。 產業應用性, 可應用於一般光通訊波段之光子偵 ...

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