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Microsoft PowerPoint - Chap8_化學氣相沉積

Chap8 化學氣相沉積(Chemical Vapor Deposition) 1 Thin Films for ICs ... 最後流入主氣流裡這些未反應氣體及副產物, 將一起被CVD 設備裏的抽氣裝置所抽離11.

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