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化學氣相沉積設備
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【Fluent實例】化學氣相沉積模擬 - 人人焦點
工程上常採用化學氣相沉積方法(chemical vapor deposition,CVD)生產半導體砷化鎵GaAs,其反應裝置示意圖如下圖所示。 工藝氣體三甲基鎵 ...
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