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高密度電漿化學氣相沉積系統

中文名稱：高密度電漿化學氣相沉積系統. 英文名稱：High Density Plasma Chemical Vapor Deposition. 二、儀器廠牌、型號：. 聚昌，Ciede-200. 三、儀器功能：.

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