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化學氣相沉積設備
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低壓化學氣相沉積法 - 政府研究資訊系統GRB
關鍵字:四氯化矽;低壓化學氣相沉積法;非晶矽薄膜;薄本質層異質接面太陽能電池;量子效率. 太陽能電池元件開發之關鍵技術包括「高效率太陽能電池結構之設計」 ...
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