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銅膜化學氣相沉積之技術開發與銅膜整合參氟二氧化矽在積體 ...

第一階段以氣泡式(bubbler)銅源輸送系統配以冷壁式反應腔體來沉積銅膜，一方面探討化學氣相沉積銅膜之基本性質，如沉積速率、活化能、銅膜電阻係數、雜質含量、及其微結構 ...

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