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低壓化學氣相沉積氧化鋅奈米線光電特性及成長機制之探討

直式冷牆化學氣相沈積設備，在過渡金屬緩衝層和電漿表面前處理輔助下，達到較佳的. 奈米線成長。經XRD，SEM，及PL 分析結構及光電特性指出在氧氣流量90 sccm，氬.

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