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關註半導體設備國產化：說說化學氣相沉積設備的那些事

上一篇文章主要介紹瞭薄膜沉積工藝的原理、常用的技術以及物理氣相沉積PVD的設備及廠商，本文在前文基礎上繼續對化學氣相沉積做個介紹。 關註半導體設備國產化：說說 ...

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