在超大型積體電路製程(VLSI)裡,請說明物理氣相蒸鍍(PVD)及化學氣相蒸鍍(CVD)兩種主要製作薄膜的製程及其優缺點。解析(一)物理氣相沉積(蒸鍍;披覆;蒸煮)法(Physical ...
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