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化學氣相沉積缺點
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真空蒸鍍之研究及探討作者
較與蒸鍍相近的濺鍍,這兩者同屬於物理氣相沉積的鍍膜方法,這兩種不同的成膜. 方式,各有不同的優缺點,但這兩者在成膜原理以及特性上較為相近,兩者有時在.
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