層之電漿增強化學氣相沉積(plasma enhanced CVD; PECVD). 處理腔室的示意剖視圖; ... 之另一主要缺點爲在回蝕之後,NF,將阻礙鎢表面,因此第二. 鎢沉積製程需要產生更低 ...
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