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化學氣相沉積缺點
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http://ir.lib.pccu.edu.tw/bitstream/987654321/547/1/922412H034.pdf
以化學氣相沉積法製備之二氧化鈦光催化活性研究(2/2) - PCCU
缺點 :1、容量有限因此產出數低。 2、容易有微粒的污染。 3、PECVD 所沉積的薄膜中會包含大量的雜質,如氫氣.
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