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化學氣相沉積缺點
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CVD化學氣相沉積優缺點化學氣相沉積的原理應用技術及特點
1、沉積速率不太高,一般在幾~幾百nm/min,不如蒸發和離子鍍,甚至低於濺射鍍膜; · 2、在不少場合下,參加沉積的反應源和反應後的餘氣易燃、易爆或有毒, ...
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