確認至少四種化學氣相沉積(CVD) 的應 ... 常壓化學氣相沉積反應器. N. 2. N. 2. 製程氣體. 晶圓. 晶圓. 加熱器. 排氣. 傳送帶. 傳送清潔裝置 ... W CVD 製程的成核步驟.
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