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化學氣相沉積方式
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薄膜沉積半導體 - Omarw
在進行化學氣相沉積製程時,包含有被沉積材料之原子的氣體,會被導入受到嚴密控制 ... 本公司推出的PECVD 是一部單腔制程的電漿輔助化學氣相沉積系統,適用於200mm晶圓 ...
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