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化學氣相沉積方式
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《科技》應材推7項新技術助晶圓製程微縮
... 的Stensar先進圖案化薄膜,使用公司的Precision化學氣相沉積(CVD)系統。相較於旋轉式沉積技術,CVD薄膜能協助客戶調整EUV硬質光罩層的厚度並 ...
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