本研究係以電漿激發化學氣相沉積(PECVD) 法,利用氮氣輸送. 四異丙基鈦酸酯(Ti (OC3H7) 4) 之蒸氣,以氧氣當電漿激發氣體產生. 反應,沉積二氧化鈦觸媒薄膜於矽基板 ...
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