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化學氣相沉積方式
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化學氣相沉積(CVD)技術梳理 - 每日頭條
CVD沉積反應里最簡單直接的方式就是熱分解反應,其原理主要是固態化合物升溫到一定溫度會分解為固態目標產物和氣態副產物。操作步驟一般是向真空或惰性 ...
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