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深次微米矽製程技術 - 第 77 頁 - Google 圖書結果

依沉積方式可分為旋轉塗佈沉積( spin on deposition , SOD )和化學氣相沉積( ... 旋塗式的優點是填洞能力佳,可達局部平坦化( local planarization ) ,製程設備便宜。

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