· PDF 檔案5 第二章基本原理與文獻回顧2-1濺鍍技術相較於化學氣相沉積法(CVD),物理氣相沉積(PVD)具有如下優點: Ø可選擇的被覆材料範圍極大,從純金屬,合金,到金屬間 ...
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