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化學氣相沉積優點
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利用選擇性氣相沉積技術製備- 表面功能性奈米結構
圖圖一利用電致選擇性化學氣相沉積製備功能性奈米結構表面之製程示意圖. E姓进出 ... 操作簡易及多樣化調控等優點,奈米結構的表面之選擇性能力將有所限制(20)。因此,.
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