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電漿增強型化學氣相沉積製程下具低介電常數氟矽玻璃銅導線之 ...

電漿增強型化學氣相沉積製程下具低介電常數氟矽玻璃銅導線之研究 ... 通常使用介電材料可使用HDP-CVD與PECVD兩種而使用PECVD沉積法是因為它具備了以下幾種優點： 1.

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