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化学气相沉积(CVD)的概念与优点 - 真空技术网

化学 气相淀积CVD指把含有构成薄膜元素的气态反应剂或液态反应剂的蒸气及反应所需其它气体引入反应室，在衬底表面发生化学反应生成薄膜的过程。

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