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PVD与CVD性能比较 - 知乎专栏

优点 : PVD 技术制备出的薄膜具有硬度和强度高、热稳定性好、耐磨性好、化学性能稳定、摩擦系数低、组织结构致密等优点。与CVD 相比低温沉积且薄膜内部的压 ...

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