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PECVD ( Plasma Enhanced Chemical Vapor D - 華人百科

PECVD · 中文名稱. 電漿增強化學氣相沉積法 · 外文名稱. Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition · 簡稱. PECVD · 優點. 基本溫度低；沉積速率快 ...

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