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chemical vapor deposition method - 化學蒸汽沉積法

指以沉積方式生長晶片的方法，以鈍氣（如氦氣、氬氣）為載體，將汽化的金屬氯化物流過單晶基片時，金屬 ... 本法的優點是厚度均勻但生長的速度慢。 ... 化學氣相沈積法

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