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化學氣相沉積優點
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第一章簡介
二)化學氣相沉積法. 與雷射融熔法相比較,利用化學氣相沉積法去成長奈米線具有簡. 單與廉價之優點。此方法通常在高溫爐管中進行,將SiH4 或GeH4.
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