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APCVD 系統的其他優點還有良好的薄膜均勻度，並且可以沈積直徑較大的晶片。 ... 快速熱化學氣相沉積（Rapid thermal CVD， RTCVD）：使用加熱燈或其他方法快速加熱晶圓 ...

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