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化學氣相沉積(Chemical Vapor Deposition) - PDF4PRO

化學氣相沉積 (CVD) ... ◇CVD藉反應氣體間的化學反應產生所需要的薄膜，因此所. 沉積的 ... 優點. 缺點. 應用. APCVD. (常壓CVD). 反應器簡單、沈. 積快速且低溫。

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