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電漿增強化學氣相沉積系統(PECVD - 科榮股份有限公司

優點 和傳統的化學氣相沉積相比製程溫度更低通過高/低頻混合技術可以控制薄膜應力具有結束點控制的等離子體乾法清洗工藝減少或杜絕了物理/化學清洗反應室的需要通過 ...

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