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化學機械研磨
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CMP的優點是允許高解析度微影技術的圖案化步驟,當元件尺寸縮小時,微影技術的解析度就會變愈高,也就是欲使元件尺寸愈小,其表面的粗糙度必須愈小,才能 ...
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